MEMS技術(shù)近些年在各應(yīng)用領(lǐng)域高速發(fā)展，MEMS以其降低功耗、提高精度以及智能化的優(yōu)勢占領(lǐng)著不容小視的市場地位。據(jù)了解，目前MEMS傳感器主要被應(yīng)用于汽車、醫(yī)療、消費(fèi)及工業(yè)領(lǐng)域。
以目前的市場布局來看，汽車工業(yè)是MEMS傳感器的一個(gè)非常重要的應(yīng)用領(lǐng)域。通常在每臺(tái)汽車上就會(huì)有幾十到幾百個(gè)傳感器，而汽車智慧化的發(fā)展趨勢也將促進(jìn)汽車市場對(duì)傳感器的需求。其應(yīng)用方向和市場需求包括車輛的防抱死系統(tǒng)(ABS)、電子車身穩(wěn)定程序(ESP)、電控懸掛(ECS)、電動(dòng)手剎(EPB)、斜坡起動(dòng)輔助(HAS)、胎壓監(jiān)控(EPMS)、引擎防抖、車輛傾角計(jì)量和車內(nèi)心跳檢測等等。其中電子車身穩(wěn)定程序ESP得到眾MEMS廠商的高度關(guān)注。由于其主動(dòng)防滑功能要求更多的傳感器和先進(jìn)的處理系統(tǒng)，因此將帶動(dòng)汽車電子MEMS傳統(tǒng)應(yīng)用市場的需求。
其次的醫(yī)療保健市場也逐漸成為MEMS傳感器應(yīng)用的又一大市場。隨著人口老齡化和中國醫(yī)療保健系統(tǒng)的健全，各種遠(yuǎn)距離監(jiān)護(hù)和高精度治療設(shè)備將越來越多地被引入。MEMS具有微型的特點(diǎn)，可以代替器官植入、微量檢測，主要的發(fā)展方向是血管內(nèi)手術(shù)和顱內(nèi)手術(shù)以及細(xì)胞手術(shù)。
換個(gè)角度，從消費(fèi)領(lǐng)域看MEMS傳感器的發(fā)展，MEMS傳感器在消費(fèi)電子領(lǐng)域中主要應(yīng)用于運(yùn)動(dòng)/墜落檢測、導(dǎo)航數(shù)據(jù)補(bǔ)償、游戲/人機(jī)界面、電源管理、GPS增強(qiáng)/盲區(qū)消除、速度/距離計(jì)數(shù)、其他體育和保健應(yīng)用等等。這些MEMS技術(shù)都在很大程度上提高了用戶體驗(yàn)，并帶來了全新的電子消費(fèi)產(chǎn)品。其中加速度計(jì)是該市場中第一大應(yīng)用產(chǎn)品，而近期陀螺儀增長迅速，已經(jīng)成為繼加速度計(jì)后的第二大應(yīng)用產(chǎn)品。
此外，MEMS傳感器在工業(yè)領(lǐng)域也有著非常多的應(yīng)用。小體積、低成本的MEMS傳感器越來越多地用在各種機(jī)械振動(dòng)監(jiān)測上，它可以用來監(jiān)測馬達(dá)、軸承等的振動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)預(yù)見性維護(hù);利用MEMS加速度計(jì)實(shí)現(xiàn)的傾角儀也被廣泛用在各種工業(yè)測量設(shè)備上;還有遙控直升機(jī)的伺服系統(tǒng)、兩輪車的平衡系統(tǒng)、天線穩(wěn)定平臺(tái)等。
小結(jié)：縱觀全球MEMS傳感器市場，MEMS技術(shù)在未來會(huì)凸顯更智能、更穩(wěn)定的高集成度MEMS傳感器模塊，這也就要求目前半導(dǎo)體廠商需要與時(shí)俱進(jìn)，跟上科技發(fā)展的腳步，以適應(yīng)不同市場的需求。
