集成電路(IC)測(cè)試技術(shù)是電力電子中不可缺少的重要組成部分，而測(cè)試設(shè)備就是IC測(cè)試技術(shù)的重要工具。本文詳細(xì)的介紹了模擬IC自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)的工作過(guò)程，它是一款針對(duì)模擬IC直流參數(shù)和交流參數(shù)進(jìn)行測(cè)試的設(shè)備，一般用在晶圓測(cè)試中，目的在于驗(yàn)證芯片性能參數(shù)是否符合要求。
模擬IC自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)結(jié)構(gòu)
模擬IC自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)的框圖如圖1，整個(gè)系統(tǒng)由PC、PCI通信板、控制板、母板、TMU板、OVC板、AWG板、DIG板和DUT板等多個(gè)部件組成。
圖1 模擬IC自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)框圖
PC模塊
PC是整個(gè)模擬IC自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)的主控制中心，就像人類的大腦，負(fù)責(zé)向各個(gè)功能板發(fā)送功能指令，并實(shí)現(xiàn)相應(yīng)功能，接收處理測(cè)量得到其數(shù)據(jù)結(jié)果。
PCI通信板模塊
PCI通信板主要負(fù)責(zé)對(duì)PC發(fā)送的功能指令進(jìn)行譯碼，再通過(guò)測(cè)試數(shù)據(jù)總線傳遞給模擬IC自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)，是PC與自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)之間的橋梁。
控制板模塊
控制板是將PCI傳遞的測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行相應(yīng)數(shù)據(jù)處理，完成PCI和各功能板間的通信。
母板模塊
母板類似于控制板和各功能板之間的“橋梁”，主要實(shí)現(xiàn)測(cè)試數(shù)據(jù)總線的傳遞。
功能板模塊
TMU(Time Measure Unit)時(shí)間測(cè)量單元，它將測(cè)量信號(hào)的頻率、周期、上升沿時(shí)時(shí)間、高脈沖時(shí)間等時(shí)間參數(shù)；AWG(Arbitrary Waveform Generator)任意波形發(fā)生器，功能是產(chǎn)生任意波形;DIG為數(shù)據(jù)采集卡，主要對(duì)波形數(shù)據(jù)進(jìn)行采集、處理、存儲(chǔ)和傳輸;OVC(Octal Voltage/Current)直流參數(shù)測(cè)試單元，就是直流參數(shù)進(jìn)行測(cè)試。
直流參數(shù)測(cè)試單元
模擬IC自動(dòng)測(cè)試系統(tǒng)中直流參數(shù)測(cè)試單元的主要功能是為芯片提供穩(wěn)定的電壓值或電流值，然后測(cè)量其電流或電壓，從而判斷芯片是否符合規(guī)范要求。本直流參數(shù)設(shè)計(jì)單元(OVC)可提供4個(gè)獨(dú)立的PMU(Precision Measure Unit，精密測(cè)量單元)，最大輸出電壓達(dá)到+20V，誤差為0.5%，最大輸出電流達(dá)到±0.5A，誤差為0.1%，OVC的硬件結(jié)構(gòu)如圖2所示。
圖2 OVC硬件電路結(jié)構(gòu)
